四、高效精密加工与装备技术

发布者:6163银河.net163.am办公室发布时间:2022-10-02浏览次数:173

带头人:詹友基教授

  针对包括超细晶硬质合金、半导体晶圆材料、工程陶瓷、光学零件等关键材料,开展以纳米级面形精度、超光滑表面和高使用性能的平面、曲面制造为目标,研究利用不同物理、化学原理的高效精密加工新工艺;高效精密加工过程中微观力、热、磁、光等的耦合作用机理,高效精密加工装备设计理论与方法等内容。

  主要研究内容如下:

    (1) 基于不同物理、化学原理的高效精密磨抛、特种加工等新工艺;

    (2)高效精密加工过程中微观力、热、磁、光和化学反应等的耦合机理; 

    (3)加工过程中材料变形断裂传递基本规律;

    (4)超光滑表面的形成机理研究与数值模拟,揭示多物理/化学场作用下材料的动态去除过程;

    (5)材料加工表面完整性和误差演变的影响规律。  


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